微系统技术

　　微系统技术是代表未来发展方向的一种技术。现在，每一辆带有气囊或ESP的新车上都已经在运用微系统技术了。

　　10多年来，微系统技术已经发展成了一种关键性的技术，也是代表着未来发展方向的一种技术。微系统技术的运用对地球资源可以起到保护作用，并且可以节省能源、原材料和使用空间，同时还可以降低生产成本，所以它可以对经济和技术的发展发挥出良好的杠杆作用。

　　在今天，一个企业在微系统技术上的能力往往体现着该企业的创新和竞争能力。Festo公司已经意识到了这种技术的战略意义。通过创立微技术元器件中心，Festo公司向这个发展目标迈出了实质性的一步。该公司采用压缩空气这种世界上最简单的传动介质，在自动化领域拥有非常广泛的技术产品。该公司投入了大量的研发经费，保证了源源不断的技术创新。

　　机械制造业的应用潜力

　　现在，每一辆带有气囊或ESP的新车上都已经在运用微系统技术了。对于机械制造者来说，微技术在机械制造上具备很大的潜力。

　　由于采用了传感技术和微型元件，微系统技术可以实现很多新的功能。在实际工作中，智能化、高度的灵活性和精度以及环保生产均是微系统技术在机械制造业中的发展目标。采用这项技术，机械制造企业可以提高自身的创新能力和在市场上的竞争力。

　　通过采用微型技术，液压系统的微型化目标便可以得到实现（微型流体技术）。微型流体技术方面的典型元件有泵、阀门、微型工作站和微型管道。这些元件与微型传感器（例如压力传感器、温度传感器和流量传感器）和信号处理元件一起即可构成一个微型智能系统。分散式微型电子技术的应用可以极大地提高机械和电子元件的智能调控能力。

　　新的开拓

　　大家一般所了解到的微流体技术系统的应用案例有制药行业中的微型剂量给料系统和环保行业中的便携式微型气体/液体传感元件。Festo公司则开辟了一片应用新天地：在所生产的零件越来越小，甚至只有用显微镜才可对结构进行观察等场合，均可使用微型技术。今天，人们已经可以在电子加工行业里使用微型部件、微型阀门、微型滑台、微型抓爪和微型维护元件，其中MH1微型阀门的工作能力可以达到普通阀门的三倍。

　　Festo公司的微系统技术元件：MH1型微型阀门和SLF型微型滑架（活塞直径6mm）

　　提高应用价值

　　若干年后，生产厂家将有能力提供带有传感元件的微型气动阀门。除了生产微型阀门所需的硅技术在不断发展之外，塑料材料在生产中也将发挥出越来越重要的作用。

　　这样，微型阀门将成为所谓的"精巧阀门"或"智能阀门"。这种阀门将具备诊断功能，并可以通过现场总线控制提供开关次数的信息。再加上传感技术和电子技术元件，阀门便可成为一种微型气动装置。

　　机械设备制造行业需要的是使用费用较低的微型技术系统，而目前这些装置的产量普遍偏低，所以加工成本较高、经济性较差，因此，Festo公司通过提供标准微型构件的方式，参与德国联邦教育与研究部的"微型技术装备标准平台"工作，试图从成本方面着手提高微系统技术的应用价值。

　　着眼于未来的研发

　　Festo公司专门建立了一个微型技术发展中心从事微系统技术的研发工作。多年来，该公司在自动化生产领域追求小型化的目标，其位于瑞士的一家分公司（Faellanden气动技术公司）就在生产微型机械元件和集合型技术元件。

　　在Advanced Micro Technology AG (AMT) 公司的名义下，Festo公司结合了各方面的优势，展开了对小型自动化系统的研究和开发工作。从2003年初以来，微型技术元件的开发和生产工作已经展开，预计在今后几年，生产规模将会持续扩大。

　　建立AMT所投入的资金达到上千万，该公司的工作着重点并非是要把公司发展成为行业的龙头老大，而是要与本地区的企业一起合作，发展专项技术。他们为此提出的口号是："我们共同生产小型化设备。"